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紫外激光光刻经济合算

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摘要紫外激光光刻经济合算往往会发生这样的情况，技术进展可使以前不经济的过程忽然变得富有生命力。在印刷电路板工业中，使用紫外激光的机器现正认为是制造电路板导体图样的重要工具。接触印刷机之类的普通曝光工具需把图样制在玻璃或胶片光掩模上。直接写人光刻的过程则以...

出处《激光与光电子学进展》 CSCD 1995年第3期32-33,共2页 Laser & Optoelectronics Progress

关键词紫外激光光刻经济合算

分类号 TN305.7 [电子电信—物理电子学]

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激光与光电子学进展

1995年第3期

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