沉积高品质金刚石薄膜的MWPCVD系统被引量：1

MWPCVD System for High-quality Diamond Film Deposition

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摘要建立了用于沉积高品质金刚石薄膜的微波等离子体化学气相沉积系统，并对该系统的工作性能进行了研究． The present paper covers a microwave plasma chemical vapour deposition system for the de-position of high-quality diamond films.Its working property is discussed.

作者白亦真吕宪义金曾孙王春蕾邹广田

机构地区吉林大学超硬材料国家重点实验室

出处《吉林大学自然科学学报》 CAS CSCD 1995年第2期60-62,共3页 Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Jilinensis

关键词金刚石薄膜微波等离子体化学气相沉积 diamond film, microwave plasma, chemical vapour deposition

分类号 O484.1 [理学—固体物理]

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1王欲知，真空技术，1982年
2郭硕鸿，电动力学，1979年

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1顾长志.金刚石薄膜的制备及应用研究[M].长春:吉林大学物理系,1996..
2金曾孙.金刚石薄膜的研究进展和展望[J].薄膜科学与技术,1995,(8):172-172.

引证文献1

1李哲奎.金刚石膜的拉曼光谱研究[J].延边大学学报（自然科学版）,2000,26(4):282-284. 被引量：2

二级引证文献2

1孟祥钦,王兵,王玉乾,甘孔银,李凯,王延平,何婷.氧化铝基体表面预处理对金刚石薄膜生长的影响[J].功能材料,2009,40(10):1699-1702. 被引量：1
2向道辉,胡永伟,陈艳彬,张治蒙,史战立,郭振海,赵波,高国富.刀具基体表面织构化对硼掺杂金刚石薄膜性能的影响[J].表面技术,2020,49(8):153-160. 被引量：4

1齐海东,么艳萍,王春武,姜志刚.金刚石膜的微结构研究[J].廊坊师范学院学报（自然科学版）,2009,9(6):62-64.
2舒兴胜,邬钦崇.Influence of Microwave Power Supply on the Quality ofMWPCVD Diamond Films[J].Plasma Science and Technology,2000,2(2):195-198.
3吴小国,曲长庆,朱宁,陈希明,常明.改建CVD系统制备金刚石薄膜[J].天津理工学院学报,2002,18(2):5-6. 被引量：1
4邓道盛,庞举,徐新民,马秀芳,沈元华.改建CVD系统制备金刚石薄膜[J].物理实验,2000,20(4):3-5. 被引量：3
5傅慧芳,刘顺生,颜恩涛,陈素纯.直流弧光放电等离子体化学气相法生长高品质金刚石薄膜[J].科学通报,1993,38(17):1585-1587. 被引量：8
6肖维维,刘永平.由分数次导数所确定的L_2(T)中的一元周期函数类在L_q(T)中的相对宽度[J].数学物理学报（A辑）,2009,29(4):833-842.
7俞世吉,邬钦崇,隋毅峰.基片预处理对MWPCVD金刚石薄膜的影响[J].真空科学与技术,1998,18(4):313-316. 被引量：2
8邱瑞,周长庚,罗勇.微波等离子体化学气相沉积系统谐振腔研究[J].真空科学与技术学报,2012,32(12):1119-1122.
9陈庆东,杨传径,毛爱霞,姜志刚,刘才龙.放电电压对直流热阴极制备金刚石厚膜的影响[J].河南大学学报（自然科学版）,2010,40(3):248-251.
10梁辉.专利集锦[J].表面工程资讯,2006,6(5):59-60.

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1995年第2期

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