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对于超纯水制取装置前级脱盐和后级树脂再生的改进
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摘要
1985年我厂从美国和日本分别引进玻封低压二极管和塑封高压硅谁生产线的同时,也从国外引进一套15T/h超纯水制取装置(见本刊1986年第5期52页).但是,由于我厂采用含盐量高的(硬质)深井水作为原水,因此对于前级脱盐和后级离子交换的影响颇大.为确保引进的超纯水制取装置正常运转,我们根据实际情况和经验。
作者
许澄嘉
许加淦
机构地区
江苏如皋无线电厂
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1989年第6期61-62,共2页
Semiconductor Technology
关键词
超纯水
制取装置
脱盐
树脂再生
分类号
TQ085.41 [化学工程]
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半导体技术
1989年 第6期
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