纳米计量技术

本文简述了纳米科学与技术的历史和最新进展，着重介绍了纳米测量技术如扫描隧道显微技术、外差干涉显微技术、Ｘ射线干涉显微技术、基于Ｆ－Ｐ标准具的测微技术等以及纳米定位控制技术及其应用。