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光刻单元集的切割重组选择算法
被引量：
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摘要
本文给出一个效率较高的算法。该算法，通过对ＶＬＳＩ设计图形的切割、重组和选择，建立光刻图形的单元图形集合──光该单元集。
作者
王绍钧
杨立才
机构地区
山东工业大学自动化工程系
出处
《计算机应用研究》
CSCD
1995年第4期51-52,共2页
Application Research of Computers
关键词
集成电路
VLSI
光刻
切割
算法
微细加工
分类号
TN470.2 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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