专利名称：在扫描探针显微镜悬臂及其针尖上沉积薄膜的方法

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摘要一种利用荷能团簇在扫描探针显微镜悬臂及其针尖上沉积薄膜的方法，包括下列步骤：溅射室的溅射靶架放置溅射靶材；在沉积室的靶架上粘贴扫描探针显微镜（AFM）的悬臂，并确保针尖向外；使靶架和待沉积薄膜的AFM悬臂处于一铜屏蔽室中；用两套真空系统同时分别对溅射室和沉积室抽真空；在溅射室中充入惰性气体Ar，使溅室真空度达8～20Pa，

机构地区中国科学院上海原子核研究所

出处《表面技术》 EI CAS CSCD 2005年第4期17-17,共1页 Surface Technology

关键词扫描探针显微镜沉积室悬臂薄膜针尖专利名称溅射靶材真空系统惰性气体

分类号 TN16 [电子电信—物理电子学] U464.134.4 [机械工程—车辆工程]

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