专利名称：选择性镀膜装置

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摘要一种选择性镀膜装置，由一真空腔室，一旋转支撑组件，复数个承盘，复数个基材整合体与蒸镀源所共同组成；旋转支撑组件包含马达和支撑架；基材整合体则包含具有孔洞及磁性的金属薄膜，

机构地区台湾省新知科技股份有限公司

出处《表面技术》 EI CAS CSCD 2005年第4期42-42,共1页 Surface Technology

关键词镀膜装置专利名称支撑架金属薄膜组件包旋转复数合体基材

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表面技术

2005年第4期

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