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专利名称:镀膜装置中的遮板

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摘要 一种镀膜装置中的遮板,是用以在一基板上形成两种以上特定厚度的镀膜层,其中遮板的形状是由多数条同心圆弧线所构成,同心圆弧线的弧度是依据镀膜层的特定厚度设成。具有遮板能够精密控制镀膜层每一点的膜厚的功效。
出处 《表面技术》 EI CAS CSCD 2005年第4期57-57,共1页 Surface Technology
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