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专利名称:镀膜装置中的遮板
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摘要
一种镀膜装置中的遮板,是用以在一基板上形成两种以上特定厚度的镀膜层,其中遮板的形状是由多数条同心圆弧线所构成,同心圆弧线的弧度是依据镀膜层的特定厚度设成。具有遮板能够精密控制镀膜层每一点的膜厚的功效。
机构地区
台湾省精碟科技股份有限公司
出处
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
2005年第4期57-57,共1页
Surface Technology
关键词
镀膜装置
基板
专利名称
镀膜层
精密控制
圆弧线
厚度
同心
分类号
TG174.444 [金属学及工艺—金属表面处理]
TN41 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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