STS推出一款适用于深硅刻蚀的应用的新产品

总公司位于英国韦尔斯New Port的Surface Technology Systemsplc（STS）日前宣布其新产品“Pegasus”的全新离子反应式深硅刻蚀机，可以将硅刻蚀的制程最佳化，更可大幅改善制程能力的稳定度及机台的可信赖度。长久以来，STS一直在微机电系统及其它相关的制程中所需的深硅刻蚀制程技术居于大幅领先的地位。