消除电子诱导离子脱附误差的超高真空压强测量(四)

第七章分压强真空计当用质谱计分析超高真空内的残余气体肘,在质谱计中也常出现由于 EID 产生的假峰。不过,这种假峰可以用对质谱计离子流调制的方法加以消除。在这一章中,将讨论MIC 规系统用于离子源的设计原理和质谱计结构。