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纳米材料派上新用场——俄发明集成电路“干”印法
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摘要
俄罗斯科学院物理技术研究所提出利用纳米巴基球材料印制集成电路的方法。利用该方法生产的集成电路质量高、效益好,生产过程中不会出现石印技术中产生的“湿”和“脏”的问题。该项目得到了俄罗斯教育科学部和“发展与独联体国家科学家合作的国际协会”(INTS)的资助,并已在俄罗斯申请了专利。
出处
《现代材料动态》
2005年第8期23-23,共1页
Information of Advanced Materials
关键词
集成电路
纳米材料
俄罗斯科学院
发明
物理技术
独联体国家
电路质量
生产过程
国际协会
分类号
TN402 [电子电信—微电子学与固体电子学]
G325.12 [文化科学]
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现代材料动态
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