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纳米材料派上新用场——俄发明集成电路“干”印法

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摘要 俄罗斯科学院物理技术研究所提出利用纳米巴基球材料印制集成电路的方法。利用该方法生产的集成电路质量高、效益好,生产过程中不会出现石印技术中产生的“湿”和“脏”的问题。该项目得到了俄罗斯教育科学部和“发展与独联体国家科学家合作的国际协会”(INTS)的资助,并已在俄罗斯申请了专利。
出处 《现代材料动态》 2005年第8期23-23,共1页 Information of Advanced Materials
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