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直径为10毫米的超微型电离规
被引量:
1
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摘要
介绍了一种新的超微型电离规的结构、特性和应用情况。这种规尺寸小,灵敏度高,并具有很宽的量程。适用于检测局部漏孔,也适用于10K的冷系统,在10^(-3)帕到10^(-3)帕范围内存在正比关系,所测数据偏离线性程度不大于±10%。
作者
李旺奎
S.Komaki
出处
《真空与低温》
1989年第2期14-16,共3页
Vacuum and Cryogenics
关键词
真空规
真空测量
检漏
分类号
TB772 [一般工业技术—真空技术]
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被引量:1
真空与低温
1989年 第2期
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