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Cymer与卡尔——蔡司合组TCZ合资公司

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摘要 半导体产业微影光源大厂美国Cymer公司与德国知名半导体光学系统厂商卡尔·蔡司SMT公司宣布合组TCZ公司,这一家合资公司将致力于为LTPS低温多晶硅平面显示器制程开发并提供创新的生产设备,其成立也代表双方由半导体领域跨足平面显示器产业的雄心。
作者 廖惠如
出处 《电子与电脑》 2005年第8期98-98,共1页 Compotech
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