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采用MENS技术的湿度传感器
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摘要
湿度传感器厂商美国Hygrometrix采用MEMS技术的湿度传感器已达到实用水平。通过MEMS构造检测基于湿度的聚合物薄膜的收缩,感应芯片通过在2mm见方的正方形硅芯片上打孔,形成了4个悬臂(Cantilever)。各悬臂采用将正方形的外周作为固定部分、以中心作为可移动部分的结构。
出处
《机电工程技术》
2005年第8期9-9,共1页
Mechanical & Electrical Engineering Technology
关键词
MEMS技术
湿度传感器
聚合物薄膜
硅芯片
正方形
可移动
悬臂
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TN252 [电子电信—物理电子学]
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机电工程技术
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