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中科院物理所发现新型纳米电子材料
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职称材料
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摘要
氮化硼(BN)作为宽带隙材料具有优异的物理性质和良好的化学惰性,是制作高可靠性器件与电路的理想电子材料之一。而实现BN纳米管的掺杂,诱导其半导体特性,是实现该材料在纳电子学领域应用的关键。近日,中科院物理所微加工实验室的研究人员与日本物质材料研究机构的同事合作,采用化学气相沉积方法,在生长BN纳米管的同时实现了F的均匀掺杂,获得了N型的BN半导体纳米管。
机构地区
天津市科技信息研究所研究部
出处
《天津科技》
2005年第4期34-34,共1页
Tianjin Science & Technology
关键词
纳米电子材料
物理性质
中科院
日本物质材料研究机构
BN纳米管
化学气相沉积方法
半导体特性
宽带隙材料
化学惰性
分类号
TQ174.758 [化学工程—陶瓷工业]
TN304 [电子电信—物理电子学]
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天津科技
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