氩注入砷化镓中的高分辨电镜观察

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摘要本工作用高分辨显微术观察氩注入砷化镓中的精细结构，由于注入惰性气体所产生的高压泡压迫泡周围点阵收缩所产生的压应变可用来缓解表面层张应变，本文将探讨选用注氩为ＡｌｘＧａ１－ｘＡｓ／ＧａＡｓ功能材料减少界面应变的可能性。

作者朱健徐景阳

出处《科技通讯（上海）》 CSCD 1995年第2期27-28,共2页

关键词砷化镓氩离子注入高分辨电镜观察

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科技通讯（上海）

1995年第2期

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