ZnO薄膜的Sol-Gel制备与结构分析被引量：2

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摘要 ZnO薄膜是一种极为重要的多功能电子材料,已广泛地应用于体声波(BAW)延迟线、声表面波(SAW)器件、声光器件,以及气敏、力敏、压敏等传感器件中.传统的ZnO薄膜制备技术主要有射频磁控溅射,离子束蒸发,化学气相淀积等几种,近年来,Sol-Gel技术得到了很大的发展,已成功地制备出高取向的PbTiO_3薄膜.高取向和外延的K(Ta,Nb)O_3薄膜和(Sr,Ba)Nb_2O_6薄膜等,利用该工艺制备高质量的薄膜,有着极大的发展潜力.

作者包定华王世敏顾豪爽黄桂玉邝安祥

机构地区湖北大学物理系

出处《科学通报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第6期572-574,共3页 Chinese Science Bulletin

关键词薄膜制备结构分析氧化锌溶胶-凝胶法

分类号 O484.1 [理学—固体物理]

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