强度比联立方程法能谱仪无标样定量分析的讨论

在X射线能谱仪和电子探针定量分析中,一般是用纯元素或与样品成分相近的已知样做标样进行比较,即使在EDAX系列能谱仪所提供的无标样半定量分析程序(SQU)中,也是用一系列的纯元素强度因子计算的,这实际上也用了标样。本文利用同一样品上不同区域成分的差别,分别测出相应元素的同种线系的能谱线强度,用简化了的质量吸收模型,建立联立方程组,通过解方程组和叠代计算,得到该试样的成分,从而开辟了无标样定量分析的又一新途径。