Pd栅MOS氢敏元件及其应用

氢气广泛应用于工业、国防、科研等各个部门,又是一种很有发展前途的能源。但是,在生产、使用、贮存、运输过程中,氢气极易泄漏、燃烧和爆炸。因此,对氢气的检测问题就摆到了人们的面前。Pd(钯)栅金属—氧化物—半导体场效应晶体管,即Pd—MOSFET,常称Pd栅MOS氢敏元件,或简称'氢敏元件',是一种具有高选择性的氢敏元件。它可以用于氢气泄漏报警、监测和定量分析,在宇航、军事、化工、电子、电力、冶金、通讯等部门都具有广泛的用途。