激光束的相移膜集束研究

A STUDY ON LASER BEAM CONDENSATION BY PHASE-SHIFTING MASKS

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摘要本文首次报导了采用Ｐｈａｓｅ—ＳｈｉｆｉｎｇＭａｒｋｓ（ＰＳＭ）技术实现激光束的集束，实验结果表明ＰＳＭ技术是一种用于激光集束的有效手段． This article reports firstly the condensation of laser beam by phase-shifting masks.The result of experiments indicates phase-shifting masks is an effective means to condense laser beam.

作者陆大荣 Leung,AM

机构地区青岛大学计算机系

出处《青岛大学学报（自然科学版）》 CAS 1995年第2期1-8,共8页 Journal of Qingdao University(Natural Science Edition)

关键词集束激光束相移膜集成电路蕊片 PSM beam condensation laser beam phase-shifting masks

分类号 TN405.7 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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青岛大学学报（自然科学版）

1995年第2期

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