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激光对Si单晶热敏电阻作用的实验研究
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摘要
利用调Q-YAG激光对硅单晶热敏电阻的气化烧蚀效应,对硅单晶热敏电阻进行高精度激光调阻.用等效电路网络分析阻值变化情况,与实验结果相符.
作者
赵继然
江敏华
查贵根
王润文
韦凤辉
庄顺昌
机构地区
中国科学院上海光机所
中国科学院新疆物理所
出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1989年第1期41-45,共5页
Chinese Journal of Lasers
关键词
调Q-YAG激光
激光调阻
热敏电阻
分类号
TN37 [电子电信—物理电子学]
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中国激光
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