激光对Si单晶热敏电阻作用的实验研究

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摘要利用调Q-YAG激光对硅单晶热敏电阻的气化烧蚀效应,对硅单晶热敏电阻进行高精度激光调阻.用等效电路网络分析阻值变化情况,与实验结果相符.

作者赵继然江敏华查贵根王润文韦凤辉庄顺昌

机构地区中国科学院上海光机所中国科学院新疆物理所

出处《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 1989年第1期41-45,共5页 Chinese Journal of Lasers

关键词调Q-YAG激光激光调阻热敏电阻

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中国激光

1989年第1期

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