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用稳光程干涉仪拍频检测小位移 被引量:4

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摘要 本文报告了一个检测低频小位移的方案,以塞曼双频激光器为光源,用迈克尔逊干涉仪进行检测.为克服低频噪声影响,采用伺服环路锁定干涉仪光程差,且用拍频技术检测信号,对于3.3kHz的信号,检测最小位移达0.005nm.
出处 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 1989年第3期156-158,169,共4页 Chinese Journal of Lasers
基金 国家自然科学基金资助项目.
  • 相关文献

参考文献1

  • 1汤俊雄,中国激光

同被引文献11

引证文献4

二级引证文献8

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