摘要
提出了一种简单而有效的监测激光烧蚀方法.展示了等离子体发光强度-时间曲线用于激光烧蚀刻蚀过程实时监测的良好前景.
出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1989年第5期263-266,共4页
Chinese Journal of Lasers
同被引文献26
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