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加速度计的最新发展——微机械硅电容加速度计
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摘要
本文对用微机械加工技术制成的薄膜型硅电容式微加速度计的国际最新研究动向进行了论述,列举了采用表面微机械加工、硅片键合、硅片溶解等微机械加工技术和有限元分析法来优化结构,达到超高性能和完善工艺、保证成品率以及采用反馈控制技术构成微机电一体化系统来补偿和完善性能的成功例子,列出已达到的性能指标。
作者
林明邦
机构地区
上海交通大学仪器工程系
出处
《上海计量测试》
1995年第2期43-45,16,共3页
Shanghai Measurement and Testing
关键词
加速度计
硅电容式
微机械加工
分类号
TH824.406 [机械工程—精密仪器及机械]
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