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Si1—xGex合金半导体及其应用
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摘要
Si1-xGex合金及其与Si构成的应变层异质结构,量子阱、超晶格是近年来迅速发展起来的一种具有广阔应用前景的半导体微结构材料,本文着重综述了Si1-xGex合金的结构,电学,光学性质及其广阔和应用价值。
作者
石晓红
沈学础
出处
《上海微电子技术和应用》
1995年第3期48-51,共4页
关键词
硅
锗
合金半导体
光电子器件
微电子器件
分类号
TN304.9 [电子电信—物理电子学]
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上海微电子技术和应用
1995年 第3期
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