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降低多晶硅还原电耗的途径被引量：7

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摘要降低多晶硅还原电耗的途径北京有色冶金设计研究总院朱骏业一、前言多晶硅是单晶硅的原料，最主要的半导体材料。多晶硅生产方法主要有改良西门子法、新硅烷及流化床法。改良西门子法是在西门子工艺的基础上发展而成的，是当今占绝对优势的生产方法，８０％的多晶硅是采用...

作者朱骏业

机构地区北京有色冶金设计研究总院

出处《世界有色金属》 1995年第5期41-45,共5页 World Nonferrous Metals

关键词半导体多晶硅还原节能电能

分类号 TN304.12 [电子电信—物理电子学]

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世界有色金属

1995年第5期

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