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铝—电极孔界面接触电阻大的分析

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作者 陈明华 范捷 王继华 成巨华
机构地区 中国华晶电子集团公司技术支援中心
出处 《微电子技术》 1995年第2期42-48,共7页 Microelectronic Technology
关键词 铝-电极孔界面 接触电阻 分析 扫描俄歇微探针
分类号 TH838.201 [机械工程—精密仪器及机械]
  • 相关文献
微电子技术
1995年 第2期

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