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探针软接触技术
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摘要
本文研究了探针的软接触技术，给出了软探针的结构示意图，介绍了软探针的特点、制造和应用。
作者
聂海谱
机构地区
中国华晶电子集团公司技术支援中心
出处
《微电子技术》
1995年第2期49-50,48,共3页
Microelectronic Technology
关键词
探针
软接触
硅材料
制造
分类号
TN304.07 [电子电信—物理电子学]
TN407 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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