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微波腔体在工业检测中的应用 被引量:3

Applications of Microwave Cavity in Industrial Measurements
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摘要 本文阐明微波腔体用于工业检测湿度、温度、厚度、速度、材料电磁参数等的基本原理.综述近年来在测量湿度、速度、材料电磁特性及半导体材料电阻率、非平衡载流子寿命等的应用. The basic principle of moisture, temperature, thickness, speed and material parameter measurements using the microwave cavity is explained in this paper. Moisture, speed, material electromagnetic property, semiconductor material resistivity measurements in recent industrial applications are also summarized.
机构地区 厦门大学物理系
出处 《微波学报》 CSCD 北大核心 1995年第3期228-235,共8页 Journal of Microwaves
关键词 微波腔体 工业检测 半导体材料 Microwave cavity. Industrial measurement
  • 相关文献

参考文献9

二级参考文献11

  • 1吕文选.腔体微扰法测厚度的分辨率和误差[J].厦门大学学报(自然科学版),1989,28(1):39-43. 被引量:1
  • 2钟茂声,电子测量与仪器学报,1988年,2卷,1期,24页
  • 3吕文选,电子测量技术,1987年,3期,6页
  • 4吕文选,厦门大学学报,1986年,4期,429页
  • 5周正杞,仪器仪表学报,1986年,7卷,1期,103页
  • 6徐得铭,武汉电子学技术,1984年,1期,18页
  • 7陈正发,电子测量技术,1982年,3期,25页
  • 8吕文选,固体电子学研究与进展,1992年,1期
  • 9钟茂声,吕文选,李焯,杨进城.简易式微波腔体微扰法介质薄膜厚度仪[J]电子测量与仪器学报,1988(01).
  • 10吕文选,肖芬,戴丽明.微波耿氏边际振荡器在测量介质介电常数等的应用[J]厦门大学学报(自然科学版),1986(04).

共引文献11

同被引文献27

引证文献3

二级引证文献2

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