模拟工厂的应用:“虚拟”的硅片制造
出处
《微电子技术》
1995年第3期90-94,共5页
Microelectronic Technology
-
1韩毅.虚拟装配技术在机械设计中的应用与研究[J].中国科技投资,2014(A09):214-214.
-
2林昌华,项兆辉.化工设备振动治理[J].重庆理工大学学报（自然科学）,2013,27(3):51-55.
-
3杨华民,王黎明,姜会林,李共德,任涛,杨大任,韩进玲.优化公差对产品合格率影响的计算机模拟[J].光学技术,1997,23(3):47-50.
-
4李晓峰.质量流量计流量误差分析[J].微电子学,1997,27(2):102-106. 被引量：2
-
5陈雪萌,李昕欣,宋朝晖,王跃林,黄晖,黄树森,张鲲.一种新结构硅微机械压阻加速度计[J].传感技术学报,2005,18(3):500-503. 被引量：12
-
6郑川,徐晓刚,高文秀.用(110)硅面各向异性腐蚀的凸角结构制作微米针管[J].中国机械工程,2005,16(13):1161-1164. 被引量：1
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