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净化厂房的颗粒控制
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摘要
要获得10级或1级的净化间，不仅在IC的生产中要注意颗粒控制，而且在净化厂房的建造和设计过程中也要注意颗粒控制。
作者
KathySkidmore
王小明
出处
《微电子技术》
1995年第6期112-117,共6页
Microelectronic Technology
关键词
净化
厂房净化
颗粒控制
IC工艺
分类号
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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.红讯半导体,1990(1):58-70.
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Asif Chowdhury.
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微电子技术
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