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实用控制图的建立
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摘要
学习一种实用的方法，建立并分析单片和批量工艺的控制图。
作者
StephenW.Wells
沈建波
出处
《微电子技术》
1995年第6期98-103,共6页
Microelectronic Technology
关键词
控制图
总体误差
单片工艺
半导体器件
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
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微电子技术
1995年 第6期
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