亚微米BiCMOS工艺技术

BiCMOS是双极的速度和驱动能力与CMOS的高密度和低功耗的结合。考虑到功耗原因，BiCMOS器件主要以CMOS为主。因此，双极器件通常并入CMOS核心工艺流程。当器件尺寸减小时，双极和CMOS技术显得愈发相似。本文例举了0．8μm和0．5μm的技术论点，BiCMOS电路与CMOS相比，成本稍有增加，但其性能提高一倍。