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SOI器件应用展望

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摘要ＳＯＩ器件应用展望东立摘编绝缘体上硅（ＳＯＩ）衬底以优良的材料特性和适中的价格／性能比，使其成为高性能ＩＣ技术开发的热点。自８０年代末，人们对ＳＯＩ衬底技术本身的研究也不断加强，而最引人们关注的是氧注入硅衬底（ＳＩＭＯＸ）和粘合与背面腐蚀ＳＯＩ（ＢＥ...

出处《微电子学》 CAS CSCD 1995年第1期63-64,共2页 Microelectronics

关键词绝缘体上硅衬底 SOI器件硅材料

分类号 TN304.12 [电子电信—物理电子学] TN386.4 [电子电信—物理电子学]

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微电子学

1995年第1期

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