一个校正函数的补偿

PRECISION COMPENSATION OF A CORRECTING FUNCTION

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摘要本文利用畸变函数的偏导数对文献［１］中给出的校正函数进行补偿，使其具有更高的精度。 The partial derivative of the distorting function is used to compensate the correcting function given by[1],so as to acquire higher precision.

作者王绍钧

机构地区山东工业大学自动化工程系

出处《微细加工技术》 1995年第2期1-5,共5页 Microfabrication Technology

关键词像差畸变电子束曝光校正函数补偿 distortion precorrection electron beam exposure

分类号 TN305.7 [电子电信—物理电子学]

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1王绍钧.一种平面区域的剖分[J].微细加工技术,1994(2):9-15. 被引量：1

1王绍钧.像差畸变及预校正映射[J].微细加工技术,1994(3):1-5. 被引量：1
2许成谦,林雪红,陈嘉兴.Turbo码Log-MAP译码算法的一种改进算法[J].燕山大学学报,2002,26(4):286-288. 被引量：6
3覃志国,刘志杰.邻近效应校正函数及参数确定[J].微细加工技术,2001(4):21-25. 被引量：2
4周继宇,张雅奇,徐伯庆.一种采用非均匀量化的近似Log-MAP算法[J].无线电通信技术,2012,38(1):29-31. 被引量：2
5胡咏梅,姚作宾,王绍钧.电磁场校正的子域变换和畸变速率补偿法[J].微细加工技术,1996(2):1-6.
6孟宪江,张铁强,施伟杰,申铉国.基于傅里叶变换的光纤探头光谱特性校正方法的研究[J].光谱学与光谱分析,2005,25(4):541-543. 被引量：1
7杨婵娟,杨万海.重要采样技术的权函数及其应用[J].火控雷达技术,1997,26(2):20-24.
8张强,孙红胜,胡泽明.基于新息协方差的机动目标轨迹估计算法研究[J].信息工程大学学报,2012,13(6):729-733. 被引量：1
9姚作宾,胡咏梅,肖义青.正交图形簇畸变的校正研究及计算机仿真处理[J].微细加工技术,2001(2):31-34.
10陈曙暄,向茂生.一种宽带雷达系统通道误差校正方法[J].系统工程与电子技术,2010,32(10):2067-2071. 被引量：4

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