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离子注入机的去离子水冷却系统
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摘要
本文介绍了在离子注入机上使用的去离子水冷却系统的结构、制水和使用效果。
作者
颜亨迪
机构地区
长沙电子部第
出处
《微细加工技术》
1995年第3期68-71,共4页
Microfabrication Technology
关键词
离子注入机
去离子水
冷却系统
半导体器件
分类号
TN305.3 [电子电信—物理电子学]
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微细加工技术
1995年 第3期
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