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亚稳态γ-Mn与GaAs(100)界面的形成:扩散和化学反应

FORMATION OF THE META-STABLE γ-Mn ANDGaAs(100) INTERFACE: DIFFUSION ANDCHEMICAL REACTION
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摘要 利用低能电子衍射、电子能量损失谱和X射线电子能谱,对亚稳态了γ-Mn在清洁、有序的GaAs(100)表面的淀积过程进行了研究.研究结果表明,淀积初期锰的生长是层状的.在生长过程中界面发生互混井伴随着Mn与衬底间的化学反应.我们用一简单的模型对上述过程进行了理论计算,得到的结果与实验基本吻合.这对于进一步理解亚稳态γ-Mn的形成机理具有重要意义. The interface formation between meta-stable γ-phase manganese and GaAs(100) substrate was investigated by low energy electron diffraction, electron energy loss spectroscopy, and X-ray photoelectron spectroscopy. The experimental results show that Mn grows in layer-by-layer mode at early stage. While the interface is smeared by the intermixing of Mn and substrate, the exchange chemical reaction happens between them. A simple model has been proposed to describe the atomic density distribution of Ga in Mn overlayer, which shows good agreement with experimental results.
出处 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1995年第1期115-121,共7页 Acta Physica Sinica
基金 国家自然科学基金资助的课题
关键词 亚稳态γ-Mn GaAs(100) 界面 扩散 化学反应 Diffusion Manganese deposits Semiconducting gallium arsenide Transition metals
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参考文献2

  • 1朱兴国,半导体学报,1993年,14卷,718页
  • 2陆家和,表面分析技术,1988年

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