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薄膜物理及其应用讲座第八讲激光分子束外延──一种研制薄膜的先进方法
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3
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摘要
激光分子束外延薄膜,是近年发展起来的、以原子层、原胞层尺度研制薄膜的新技术、新方法。本文简要地介绍激光分子束外延的工作原理、特点与优势、以及国内外的研究动态。
作者
陈正豪
机构地区
中国科学院物理研究所
出处
《物理》
CAS
北大核心
1995年第12期719-723,共5页
Physics
基金
国家自然科学基金
关键词
激光分子束外延
单原子层
多层膜
超晶格
薄膜
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
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