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薄膜物理及其应用讲座第八讲激光分子束外延──一种研制薄膜的先进方法 被引量:3

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摘要 激光分子束外延薄膜,是近年发展起来的、以原子层、原胞层尺度研制薄膜的新技术、新方法。本文简要地介绍激光分子束外延的工作原理、特点与优势、以及国内外的研究动态。
作者 陈正豪
出处 《物理》 CAS 北大核心 1995年第12期719-723,共5页 Physics
基金 国家自然科学基金
  • 相关文献

同被引文献45

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引证文献3

二级引证文献39

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