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X射线衍射Φ旋转及其应用
被引量:
2
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摘要
介绍了X射线衍射Φ旋转方法,结合具体实例说明了该方法在单晶片全方位定向、研究生长薄膜层与衬底的取向关系、研究生长薄膜层中缺陷、以及在该系统辅助下应用非对称θ-2θ衍射技术研究生长层与衬底界面晶格失配方面的应用,从研究结果可以看出,X射线衍射Φ旋转技术是研究大失配生长层完整性的有效工具。
作者
郝建民
机构地区
电子工业部第四十六研究所
出处
《物理》
CAS
北大核心
1995年第12期715-718,共4页
Physics
关键词
X射线衍射
φ旋转
薄膜
分类号
O484 [理学—固体物理]
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物理
1995年 第12期
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