电子束辐照下铜氧化现象的电镜研究

用电子显微镜中的电子束对铜超微粒子和铜的薄膜样品进行了连续的照射和跟踪观察,结果表明,电子束不仅使铜超微粒子与镜筒中的气氛发生了氧化反应,而且使铜薄膜样品也发生了氧化反应,反应的途径都是:铜的表面首先生成一层很厚的类非晶膜,接着类非晶膜在电子束的进一步照射下再转变为铜的晶态氧化物。本文的结果进一步证实了类非晶膜在铜的氧化过程中实质上是起着一种氧化的“先驱态”作用的结论。