多相合金平均成分的电子探针分析及数据处理

1 一般方法 电子探针定量分析主要用于μm级的微区分析。由于分析速度快和不损坏样品的特点,也常用来分析合金的平均成分。通常,平均成分是依靠测定许多点取平均值求得。实际上,只有合金中的第二相质点很小且分布弥散,或各相交错且分布均匀时,每一分析点的束流覆盖面积都能代表合金的平均成分,任意测定多点取平均值的方法才能可行。如果合金中第二相的尺寸或间距与束流的覆盖面积接近,每一分析点的数据与真值接近概率很小,不能任意选定分析点的位置。此时,可选择具代表性位置沿一直线逐点分析,或按一矩面积顺序逐点分析,分析结果取平均值。这比任意定点取平均值的方法误差小得多。