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重掺锑硅单晶制备中锑的蒸发速率常数的测定 被引量：2

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摘要 重掺锑硅单晶制备中锑的蒸发速率常数的测定常青，曾世铭，何林，王君毅（北京有色金属研究总院１０００８８）关键词：硅单晶，锑，掺杂，蒸发速率，测定（一）实验重掺锑硅单晶是在ＣＧ－３０００型直拉单晶炉上研制的，直径为８２ｍｍ，晶向（１１１）。石英坩埚直径为...
作者 常青 曾世铭 何林 王君毅
机构地区 北京有色金属研究总院
出处 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第3期235-236,共2页 Chinese Journal of Rare Metals
关键词 硅 单晶 锑 掺杂 蒸发速率 测定
分类号 O613.72 [理学—无机化学]
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同被引文献12

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引证文献2

稀有金属
1995年 第3期

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