摘要
概述了微材料学产生的历史背景、微材料学基本概念、微材料分类、微驱动器特性以及ＮｉＴｉ形状记忆合金薄膜的研制现状、特性及微器件。
出处
《稀有金属》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1995年第3期211-217,共7页
Chinese Journal of Rare Metals
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