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新型二维电容位置传感器
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摘要
新型二维电容位置传感器MHw。Bonse等1.前盲目前,人们对二维(ZD)位置测量越来越感兴趣。尤其是在IC生产、生物医学和各种显微技术领域中。迄今,基本的线性位置测量系统主要基于光栅或激光干涉方法,用这些系统可以达到此目的。这些系统在一些应用中也存...
作者
袁凤
出处
《现代计量测试》
1995年第2期52-54,共3页
Modern Measurement and Test
关键词
电容位置
传感器
位置测量
二维
分类号
TM934.207 [电气工程—电力电子与电力传动]
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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现代计量测试
1995年 第2期
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