分子束外延的计算机控制

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摘要报导了一种专门为MBE生长而设计的计算机控制系统，改善并扩展了原控制单元SentinelⅢ的功能，并展示了由它控制生长的各种SiGe结构。

作者章怡蒋最敏卢学坤

机构地区复旦大学应用表面物理国家重点实验室

出处《真空科学与技术》 CSCD 1995年第4期266-268,共3页 Vacuum Science and Technology

关键词分子速外延控制生长计算机控制

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真空科学与技术

1995年第4期

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