质谱分析中高压强气体的线性微量取样

报道一种质谱分析用的新型高压强气体取样阀。该阀采用多孔漏孔对高压强气体进行分子流微量取样；可以对133～1．013×105Pa压强的气体进行线性取样。对于1．013×105Pa氮气的取样量为8×10-3PaL/s。