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热壁外延制备n-PbTe/p-Pb_(1-x)Sn_xTe异质结
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摘要
用改进的HWE装置,在BaF2衬底上制备n-PbTe/p-Pb_(1-x)Sn_xTe反型异质结的工艺及测试结果。SEM,XRD检测表明它是单晶异质结,I-U曲线表明它具有良好的整流特性。此外用C-U截距法测定了它的内建电势差Ud。
作者
杨玉琨
李文明
于磊
杨易
吴连民
徐跃
徐立兴
熊欣
机构地区
吉林大学分析测试实验中心
辽宁大学电子科学与工程系
出处
《真空科学与技术》
EI
CAS
CSCD
1995年第5期343-346,共4页
Vacuum Science and Technology
关键词
热壁外延
异质结
制备
HJ器件
分类号
TN304.054 [电子电信—物理电子学]
引文网络
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真空科学与技术
1995年 第5期
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