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氧化锌纳米薄膜材料的制备及AES,XPS研究
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摘要
利用直流气体放电活化反应蒸发方法制备了ZnO纳米薄膜,运用多种分析手段(AES,XPS,SEM,XRD等)研究了ZnO纳米薄膜的表面形貌、组成、结构以及表面性质,讨论了ZnO纳米薄膜的AES和XPS谱线宽度与粒径之间的关系,解释谱线加宽的基本原因。
作者
文全胜
潘孝仁
戴慕仉
陆元成
王声乐
张强基
张勇
庞世瑾
机构地区
华东理工大学物理系
复旦大学材料科学系
中科院北京真空物理实验室
出处
《真空科学与技术》
CSCD
1995年第5期356-362,共7页
Vacuum Science and Technology
关键词
纳米薄膜
俄歇电子能谱
氧化锌
制备
分类号
TN304.21 [电子电信—物理电子学]
TN304.055 [电子电信—物理电子学]
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真空科学与技术
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