因子分析法及其在俄歇电子谱研究中的应用

详述了因子分析法的基本原理和发展状况，并介绍了这种方法在俄歇电子谱研究领域中的应用现状。包括元素化学态的分析、ＡＥＳ深度剖析、ＡＥＳ定量研究等领域。实践证明因子分析法作为一种强有力的谱分解、技术，在表面分析的研究中具有广泛的应用前景。