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摘要 0603110 与光刻胶相关的金属粒子场致发射=Field emission from metal particles bound with a photoresist [刊,英]/ Akiyoshi Baba and Tanemasa Asano//Journal of Vacuum Science & Technology B.-2003, 21(1) .-552-556(E)

出处《电子科技文摘》 2006年第2期11-12,共2页 Sci.& Tech.Abstract

关键词光刻胶弹体光致抗蚀剂辅料钢板金属板钢纤维混凝土抗蚀剂电子材料空腔膨胀理论金属粒子混凝土板解放军理工大学

分类号 TN04 [电子电信—物理电子学]

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